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集成温度传感器的微流道散热器

842   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:20:07
本发明属于一种微流道器件,具体涉及一种集成温度传感器的微流道散热器。包括微流道盒体、键合层、微流道盖体、冷却液入口、冷却液出口、微流道沟槽和温度传感器。本发明实现温度传感器在微流道散热器内部一体化集成,集成的温度传感器位置布放灵活,实现多点位、高空间分辨率的实时监测,以提高微流道散热器可靠性,进而优化设计散热器;与外接温度传感器相比,该方案获得的温度受环境影响小,结果更能精准的反映流道内部状况,提高了微流道散热器整体可靠性。还采用键合层隔开冷却液与温度传感器的直接接触,使得温度传感器不会被冷却液直接接触影响,导致温度传感器的稳定性和精确性降低,甚至于温度传感器短路失效。
声明:
“集成温度传感器的微流道散热器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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