本发明涉及工业废料处理技术领域，具体涉及一种铜氨废液处理方法。
背景技术：
铜蚀刻行业中，会产生大量铜蚀刻废液。通过再生技术可将大部分铜蚀刻废液得以回收利用。但生产过程中仍有不少铜废液需要进入污水处理系统进行处理。含铜废水中的铜含量很高，直接排放不仅对环境造成污染，而且浪费资源，因此需要对含铜废水进行处理，通过技术手段对铜进行回收利用，水质达标后再进行排放。而现有技术对于这种重金属离子废液的处理一般采用化学沉淀法或吸附法等。由于半导体行业产生的铜废水量比较大，而铜酸中含有双氧水和少量的铜，铜离子对双氧水分解起到了催化作用，所有具有爆炸的危险性，另外铜酸中含有胺添加剂及安定剂，气味难以彻底去除，从环保、经济等方面考虑我们着手于此铜蚀刻液废水的回收处理技术，为企业减轻处置压力和处置费用。因此，从形成半导体装置的铜布线的湿法蚀刻工序，排出含有来自该蚀刻液的过氧化氢、磷酸根离子和有机胺的铜蚀刻废水，进一步在铜蚀刻废水中含有被蚀刻的铜，其中一部分铜与蚀刻液中螯合剂形成络合物。
现有技术中，含铜废水处理技术包括有化学沉淀法、电解法、离子交换法、重金属螯合剂、膜分离法和置换法等，不同的含铜废水处理技术有各自的特点。由于过氧化氢浓度高的铜蚀刻废液，进行水处理较困难，因此，稀释后作为工业废弃物进行处理，但是如过氧化氢浓度高时，则在工业废弃物处理时有爆炸的危险性，即使供为废液处理时，仍然需要预先将过氧化氢加以处理。
现有技术中过氧化氢的处理方法，一般使用：活性炭、过氧化氢酶(catalase)、锰催化剂(manganesecatalyst)等，但是如过氧化氢浓度在超过1000mg/l时，则有催化剂性能的低落或催化剂使用量增大等问题。因此，如对过氧化氢浓度为1wt%以上的铜蚀刻废液，适用此种处理方法时，在工业上实际使用中成本过高。
另外，采用离子交换法将形成络合物的铜处理至排水标准以下时，由于处理所用镁化合物使用量较多，存在处理成本增加、产生污泥量多等问题。并且使用的镁化合物也与氟化物离子、磷酸反应，如果废水中含有氟化物、磷酸根离子，则镁使用量进一步增多，致使氢氧化镁的污泥量加大等问题。
技术实现要素：
为了解决现有技术中处理含铜废水时成本大和易发生爆炸的技术问题，本申请提供一种铜氨废液处理方法，具体包括：
一种铜氨废液处理方法,包括以下步骤：
向调节池中加碱性试剂调节
声明：
“铜氨废液处理方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：陕西高科环保科技有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
