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对单晶硅生产中回收的氩气纯化的方法

1281   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:29:07
本发明公开一种对单晶硅生产中回收的氩气进行纯化的方法。本发明的氩气纯化的方法是:在反应床中均匀装填纯化处理催化剂,并使催化剂表面保持在同一平面,先通入高纯氧气对催化剂进行预氧化处理,反应装置升温至100℃‑400℃,然后使待纯化的氩气流过催化剂表面,所用的催化剂含Ce、Ni、Sr、Co、Mn、La、Zn、Ga、Mg、Be、Ba、Bi和Cd各组份。本发明的方法使用廉价的钙钛矿型复合氧化物催化剂,其反应条件温和,纯化氩气纯度高,纯化系统反应可去除CO、H2等,生成CO2与H2O,该工艺方法简洁,产品纯化率较高,符合绿色化学概念,同时适合工业化生产。
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