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低氧钽靶材及其制备方法

1133   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:58:01
本发明提供了一种低氧钽靶材及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)将钽源置于氢化装置并抽真空,通入氢气加热,待氢化装置内压力不再下降时停止加热,得到氢化钽源;(2)将步骤(1)所述氢化钽源依次进行破碎和热处理后,得到脱氢钽粉;(3)将步骤(2)所述脱氢钽粉依次进行冷等静压、真空烧结、脱气处理和热等静压,得到低氧钽靶材。本发明将脱氢钽粉采用冷等静压、真空烧结和热等静压相结合的方式,大大降低钽靶材的氧含量,钽靶材的氧含量低于100ppm,同时保证了钽靶材的纯度和致密度,致密度高达99.9%,纯度高达99.9999%,具有较好的工业应用前景。
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