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钛硅钼合金靶材及其制备方法

901   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:01:02
本发明公开了一种钛硅钼合金靶材及其制备方法,其制备方法包括:将硅粉和钼粉在真空或高纯氩气保护下混合;将混合后的钼‑硅粉末烧结,获得钼硅合金块;将所述钼硅合金块破碎成钼硅合金粉;将钛粉与所述钼硅合金粉在真空或高纯氩气保护下混合;将混合均匀的所述钛粉与所述钼硅合金粉进行冷等静压压制,获得钛硅钼合金坯料;将所述钛硅钼合金坯料装入包套中,进行脱气处理;将经脱气处理的包套封焊后,通过热等静压烧结获得合金锭坯;将压制后的所述合金锭坯依次进行机加工和清洗,获得钛硅钼合金靶材。本发明制得的钛硅钼合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析,组织均匀,晶粒细小,规格尺寸多等优点。
声明:
“钛硅钼合金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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