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铝铬硼合金靶材及其制备方法

836   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:01:02
本发明提供了一种铝铬硼合金靶材，以原子百分比计，其成分包括铝30‑80at％，铬10ˉ50％，硼5‑30at％。本发明还提供了一种铝铬硼合金靶材的制备方法，步骤包括：将铝粉和硼粉在真空或高纯氩气保护条件下混合；将混匀的粉末烧结得到铝硼合金块；将铝硼合金块破碎成铝硼合金粉末；将铬粉和铝硼合金粉末在真空或高纯氩气保护条件下混合、再冷等静压压制得金属块体；将金属块体装入包套中脱气处理后在热等静压设备中烧结压制得到合金锭坯；最后将合金锭坯机加工、清洗得成品靶材。本发明制得的铝铬硼合金靶材，致密性好，无气孔、无疏松和偏析，成分均匀，晶粒细小，规格尺寸大。
声明：
“铝铬硼合金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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