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薄膜材料集成方法

1208   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:31
本发明涉及一种薄膜材料集成方法,包括提供一基底;形成石墨烯层于所述基底的上表面;形成至少一功能材料层于所述石墨烯层的上表面;形成刚性临时基底层于所述石墨烯层的上表面,所述刚性临时基底层覆盖所述功能材料层;将由所述刚性临时基底层、所述功能材料层组成的叠层结构从所述石墨烯层表面机械剥离;将所述叠层结构转移至目标衬底,所述功能材料层与所述目标衬底的表面接触;去除所述刚性临时基底层,并使所述功能材料层留在所述目标衬底的表面。本发明通过选用刚性临时基底,有利于减小功能材料层在工艺过程中的变形,实现与目标衬底的晶圆级对准集成。
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