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板式PECVD系统中的镀膜载板部件

1088   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 16:47:17
本实用新型提供了一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件,包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳‑碳复合材料导轨、碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母;镀膜载板的设置有内六角沉头式通孔的边部、石墨导轨、碳‑碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母连接在一起;碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母在酸洗过程中不会被氢氟酸腐蚀;碳‑碳复合材料螺杆的机加工难度、机加工工作量以及切削量均比较小;内六角沉头式通孔与碳‑碳复合材料六角螺母均为六角结构,可以卡着固定碳‑碳复合材料六角螺母,可以定位与卡位,在上下方向上对齐摆正,提高了安装精度。
声明:
“板式PECVD系统中的镀膜载板部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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