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氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法

825   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:14:55
一种氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法,包括以下步骤:一种由固体吸附材料负载离子液体的复合材料,是将固体吸附材料作为支撑载体,将其与离子液体或者有机溶剂按比例混合均匀,进行研磨;所得混合物进行真空加热干燥,得到以多孔材料为支撑载体的复合材料;所得复合吸附材料填充于吸附柱中,在高纯氮气下,将一定温度、压力的氯硅烷通入吸附柱;吸附柱出口收集处理后的氯硅烷,得到提纯后的氯硅烷;复合吸附材料在一定温度、压力下进行气体吹扫,进行脱附回收。本发明的硼、磷微量杂质吸附剂实现了氯硅烷体系中存在的微量硼、磷杂质的高效吸附;不经过高温处理,能耗低,工艺简单;吸附剂循环利用,生产过程中废物排放少,避免了环境污染。
声明:
“氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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