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单晶炉用高寿命石墨三瓣埚

573   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:22
一种单晶炉用高寿命石墨三瓣埚,包括石墨三瓣埚、连接板、连接件,石墨三瓣埚包括第一瓣埚、第二瓣埚、第三瓣埚,连接板包括第一连接板、第二连接板、第三连接板,连接件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件,通过采用第一连接板、第二连接板、第三连接板对石墨三瓣埚进行固定,提高石墨三瓣埚整体结构的强度,彻底解决石墨三瓣埚易损坏、开裂的现象,提高石墨三瓣埚的使用寿命,降低生产成本;保护了R角,减少漏硅的风险,减少安全事故,提高石墨三瓣埚的利用率;降低石墨三瓣埚的损害对设备的影响;且第一连接板、第二连接板、第三连接板为碳碳复合材料,在高温下不容易挥发,更好的保护了R角处的温度,使石墨三瓣埚的R角不易损坏。
声明:
“单晶炉用高寿命石墨三瓣埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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