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内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置

1189   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 18:03:16
本实用新型公开了一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置,包括双层石英管,双层石英管包括外层石英管(1)和内层石英管(2),所述双层石英管首端以第一管路(24)连接氩气气源(14),所述双层石英管末端以第二管路(22)连接真空泵(20),其特征在于,双层石英管从首端到末端依次包括等离子体反应区、第一加热区和第二加热区,内层石英管(2)和外层石英管(1)首端对齐,内层石英管(2)末端延伸至第二加热区,所述等离子体反应区于外层石英管(1)外设置有等离子极栅(9),等离子极栅(9)连接射频电源(10)。该装置可以有效地在陶瓷基质复合材料内部形成多功能涂层,为过滤器提供高刚性和良好的耐化学性。
声明:
“内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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