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微纳3D打印方法及打印设备

1158   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:29:57
本发明实施例公开了一种微纳3D打印方法及打印设备,涉及新能源技术领域,能够实现ALD的原子级制造精度的同时,又能缓减ALD中的缺陷。本发明包括:将基底37放入腔体3内,启动真空泵35对腔体3抽真空;将等离子气体气源通入等离子体枪4,等离子气体在等离子体枪4内发生电离后,产生活性官能团自由基,对基底37表面进行活性官能团的接枝;激光头1按照打印图样照射扫描基底37的表面加热;通入第一前驱体源,激光头1照射步骤S3中形成的活性官能团图样,形成的第一前驱体源图样;通入第二前驱体源,激光头1照射步骤S4中形成的第一前驱体源图样,形成分子层的图样;激光头1照射步骤S5中形成的分子层图样去除杂质。本发明适用于微纳3D打印。
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“微纳3D打印方法及打印设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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