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用作微电子相变存储器的氨基吡啶Ge(Ⅱ)前质体及其制备方法

977   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:05:34
本发明涉及一种用作微电子相变存储器的氨基吡啶Ge(Ⅱ)前质体,该前质体以氨基吡啶及其衍生物为配体,依以下方法制备:(1)将氨基吡啶及其衍生物溶解在反应溶剂中,-78~0℃搅拌条件下加入烷基溶液,氨基吡啶或其衍生物与烷基锂摩尔比1.0:1.0~1.4,恢复室温继续搅拌,将Li配合物静置待用;(2)将步骤(1)得到的Li配合物与甲苯混合,-78~0℃条件下以锂盐与金属锗摩尔比2.0:1.0~1.4滴加到二氯化锗的乙醚溶液中,升温至室温;(3)将步骤(2)得到的混合物过滤浓缩,滤渣用二氯甲烷提取,收集滤液,-40~0℃低温结晶,得到所述的氨基吡啶Ge(Ⅱ)前质体。本发明合成方法简单,制备的前质体热稳定性高,挥发性好,成膜性能优良,是制备相变存储器潜在的重要前质体。
声明:
“用作微电子相变存储器的氨基吡啶Ge(Ⅱ)前质体及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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