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声表面波滤波器及其制作方法

1019   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:32:18
本发明公开了一种声表面波滤波器及其制作方法,首先在钽酸或铌酸锂衬底上覆盖一层不透光金属层,之后利用黄光流程定义出IDT图形,再通沉积金属,采用剥离工艺去除光刻胶及其上方的金属后,再将多余的不透光金属层去除。其中不透光金属层为粘合层时,通过蒸镀工艺沉积金属,再利用RIE或ICP工艺去除粘合层;不透光金属层为种子层时,采用电镀工艺沉积金属,再利用湿法刻蚀工艺去除种子层。即可完成叉指状金属电极的制作工艺。本发明可避免因衬底黑化不均导致透光率不同,从而影响光刻结果,并且可以避免金属残留等问题。
声明:
“声表面波滤波器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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