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基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法

841   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:02:36
本发明提供了一种基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法。在基体上预先刻蚀出呈对称排布的空腔矩阵;在所述空腔矩阵内通过沉积二氧化硅,并涂覆铌酸晶体薄膜,构成布拉格反射层;在所述布拉格反射层上方设置呈盖状的底电极,覆盖每个空腔,并在所述底电极上设置有与所述底电极材质相同的支撑柱;在相邻的底电极之间进行氧化直流磁控溅射,构成氧化锌层;其中,所述氧化锌层的填充高度不超过所述盖状的底电极的上盖面;在所述氧化锌层上进行制备介电层;其中,所述介电层通过氮化沉积填充构成;在所述介电层上通过直流磁控溅射镀膜的方式构成厚膜层,并在所述厚膜层上进行光刻和蚀刻,构成顶电极。
声明:
“基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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