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用于声学滤波器的异质单晶薄膜的制备方法

1037   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:24:29
本发明涉及声学滤波器技术领域,特别涉及一种用于声学滤波器的异质单晶薄膜的制备方法。该异质单晶薄膜的制备方法包括以下步骤:提供异质薄膜结构;该异质薄膜结构包括压电薄膜;对该异质薄膜结构进行后退火处理;该后退火温度范围为300‑800摄氏度;该后退火的氛围内含有与该压电薄膜对应的元素材料。从而能够在实现提高键合强度,恢复晶格缺陷的同时,还能够有效抑制压电薄膜中元素和氧元素等的外释问题,提高异质单晶薄膜的质量。
声明:
“用于声学滤波器的异质单晶薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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