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一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器

626   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 05:57:19
本发明提供一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器,涉及粉尘过滤器技术领域。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器,包括过滤器外壳,所述过滤器外壳的内部活动安装有腔体,所述腔体的左侧外表面连通有进气管,所述进气管的外表面固定安装有第一气泵,所述腔体的一侧设置有集尘槽,所述集尘槽的内部固定安装有静电吸附板。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器,很好地对废气中的粉尘进行了过滤,并对粉尘进行收集,防止粉尘对设备内部和外部造成污染,以及对人体造成危害,能够对集尘槽内部的粉尘进行集中清理,以及便于对该粉尘过滤器进行维护检修,拆装简单便捷。
声明:
“一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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