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半导体清洗设备化学药液加热器

1013   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:48
本实用新型公开一种半导体清洗设备化学药液加热器,包括由内层管和外层管组成的加热管,安装在内层管中的加热丝,用于密封加热管的密封塞,以及穿过密封塞与加热丝相连的电源线,还包括控制器电源、控制器、报警器以及用于检测加热管是否破裂的传感器,所述报警器、传感器、控制器电源均与控制器相连。本实用新型能够实时监测加热管是否破损,从而及时将加热管从化学药液池中取出,进而保护化学药液和清洗设备。
声明:
“半导体清洗设备化学药液加热器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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