合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 硅通孔的测试结构

硅通孔的测试结构

1275   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:13
本发明涉及一种硅通孔的测试结构,包括:半导体衬底;硅通孔,部分嵌于所述半导体衬底内;导电材料层,位于所述半导体衬底上方、所述硅通孔的外侧并与所述硅通孔相连接;其中,所述硅通孔以及所述导电材料层构成电容测试结构。本发明提供了一种晶圆可接受测试(WAT)的测试结构,用硅通孔,硅通孔隔离层以及多晶硅来形成电容结构,通过测试该电容结构的电容值和电容的漏电,来(1)推算TSV隔离层的电性厚度,(2)测试TSV的漏电流大小。所述测试结构不仅有助于侦测TSV隔离层的隔绝能力,而且可以帮助出现问题时的PFA(物理失效分析)定位。
声明:
“硅通孔的测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
失效分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 金属百科 | 稀贵金属—“铼” Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 金属材料在芯片工艺上的作用 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 金属百科 | 锑的历史与发展 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.155631s