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碲锌镉加工废水综合回收处理方法与流程

537   编辑:中冶有色网   来源:广东先导微电子科技有限公司  
2023-09-18 14:38:26
1.本发明属于晶片加工废水处理技术领域,具体涉及一种碲锌镉加工废水综合回收处理方法。背景技术:2.碲锌镉是宽禁带ii-vi族化合物半导体,可以看作是cdte和znte固溶而成的一种三元化合物半导体,具有原子序数大、禁带宽度大、电阻率高等优异的性能。通过调整碲锌镉中的zn含量调制不同晶格的碲锌镉,使其与任意组分的碲镉汞(hgcdte)材料的完全匹配,实现准同质外延,降低由于晶格失配造成的缺陷。3.碲锌镉晶片的加工过程一般包含长晶、晶棒加工、切片、研磨、抛光和清洗等过程。在碲锌镉晶片生产过程中,一部分碲锌镉会进入加工废水或废渣中。如果加工废水或废渣直接进行排放,一方面重金属镉会污染水质,造成环境污染;另一方面,废水中含有的碲,其作为一种优良的半导体元素,如果不加以回收会造成极大的浪费。目前由于碲锌镉的研发工艺产生的工业废水一般先收集再集中处理。如果工业化批量生产后通过排水管道直接排放到污水处理池进行处理,这样的处理方式需要很大的用水量,造成碲的回收率低,重金属镉的处理成本也会增加;并且长期通过水管道排放容易造成管道的堵塞,增加维护的成本。因此,亟需一种碲锌镉加工废水的处理方法。4.专利cn 107416778 a公开了一种从碲锌镉废料中回收碲的方法,包括如下步骤:s1:将碲锌镉废料破碎球磨过筛后,与水混合均匀,形成第一混合液;s2:向第一混合液中加入适量的氧化剂,升温至60-80℃,再缓慢滴加第一酸剂,形成第二混合液;s3:将第二混合液过滤,得到第一溶液和浸出渣;s4:浸出渣加第二酸剂再洗涤,洗涤后过滤得到2~3n碲产品。该专利技术主要用于处理纯的碲锌镉废料,直接将碲反应为固相单质从而与其它溶液相分离。涉及的反应过程如下3cdxzn(1-x)te+6hcl+naclo3=nacl+3xcdcl2+3(1-x)zncl2+3h2o+3te。然而对于碲锌镉加工过程中切片、抛光、多晶清洗、单晶清洗等废水中含有碳化硅等磨料,这些磨粒难以与酸和氧化剂反应,因此采用上述方法无法实现磨料的回收利用和碲分离。另外,对于碲锌镉加工过程中内圆锯、倒角等产生的含碲锌镉颗粒的废水,采用上述方法也难以实现分离回收利用。技术实现要素:5.针对以上现有技术存在的缺点和不足之处,本发明的目的在于提供一种碲锌镉加工废水综合回收处理方法。本发明处理方法可同时实现碲锌镉加工过程中内圆锯、倒角、切片、抛光、多
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