1.本发明涉及一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法，属于多晶硅生产技术领域。
背景技术：
2.多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池及高纯硅制品的关键材料。随着电子信息产业和太阳能光伏产业的快速发展，市场对多晶硅的需求不断增加。目前，制备多晶硅的主流工艺为改良西门子法，通过工业硅与还原尾气回收的四氯化硅、氯化氢以及氢气反应，反应体系经除尘后通过冷凝、回收分离得到氢气和由反应生成的三氯氢硅、未反应的四氯化硅等组成的混合液，氢气回系统重新参与反应，混合液则用精馏的方法分离出高纯度的三氯氢硅(四氯化硅经过提纯后回氢化回收利用)，再将汽化的三氯氢硅与氢气按一定比例混合引入多晶硅还原炉，在置于还原炉内的棒状硅芯两端加以电压，产生高温，在高温硅芯表面，三氯氢硅被氢气还原成元素硅，并沉积在硅芯表面，逐渐生成所需规格的多晶硅棒。进入还原炉的三氯氢硅仅有8～12％左右转化成多晶硅，还原尾气中含有大量未反应的生产原料氢气(h2)、三氯氢硅(sihcl3)和反应副产物四氯化硅(sicl4)、氯化氢(hcl)、二氯二氢硅(sih2cl2)等。通过尾气回收装置，经“干法”分离回收，分离出的氯硅烷到精馏提纯，氢气回还原炉循环使用，氯化氢送至冷氢化装置。
3.现有尾气回收工艺采用干法回收技术，基本可以全部分离回收还原尾气中的各组份。但是，随着多晶硅技术的发展，尾气回收工艺仍存在提高回收产品质量与能耗增高的矛盾。图1为现有技术中多晶硅尾气回收工艺的示意图；图2为现有技术中多晶硅尾气回收系统的示意图。如图1和图2所示，现有的多晶硅尾气回收系统包括尾气冷凝单元、氢气压缩单元、尾气氯化氢吸收单元、尾气氯化氢解析单元和氢气吸附单元；其中，还原尾气经尾气冷凝单元初步将氢气尾气(含氯化氢和少量氯硅烷)与氯硅烷(主要为三氯氢硅和四氯化硅)气液分离；尾气冷凝单元产生的不凝氢气经氢气压缩单元加压后送至尾气氯化氢吸收单元(尾气氯化氢吸收塔1)，在尾气氯化氢吸收单元中，氯硅烷会吸收氢气尾气中的氯化氢，尾气氯化氢吸收单元产出脱除氯化氢的氢气经氢气吸附单元进一步纯化后，得到纯度达99.9999％的回收氢气供还原单元及其他单元使用，氢气吸附单元再生的副产品氯硅烷废液送至精馏单元；尾气冷凝单元产生的氯硅烷与尾气氯化氢吸收单元(尾气氯化氢吸收塔1)输出的富含氯化氢的氯硅烷富液一起进入尾气氯化氢解析单元(尾气氯化氢解析塔
声明：
“多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：华陆工程科技有限责任公司
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2025年05月08日 ~ 10日 
