合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 复合材料技术

> 氮化铝基复合材料、其制造方法及半导体制造装置用部件

氮化铝基复合材料、其制造方法及半导体制造装置用部件

1055   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:44:02
本发明提供一种具有与氧化同等或其以上耐蚀性和体积电阻率且具有比氧化铝更高的热传导率的新型材料。本发明的氮化铝基复合材料为过渡金属、碱金属、硼的各元素分别为1000ppm以下的高纯度的氮化铝基复合材料,其热传导率为40~150W/mK,热膨胀系数为7.3~8.4ppm/℃,体积电阻率为1×1014Ωcm以上,作为构成相含有AlN和MgO,进而含有从由稀土金属氧化物、稀土金属-铝复合氧化物、碱土金属-铝复合氧化物、稀土金属氧氟化物、氧化钙和氟化钙构成的组中选择的至少一种。
声明:
“氮化铝基复合材料、其制造方法及半导体制造装置用部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
复合材料
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 钨矿——工业之基,战争金属之王 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 金属百科 | 锑的历史与发展 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 金属材料在芯片工艺上的作用 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.264575s