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用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法

1025   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 16:35:02
本发明公开了一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化复合材料的制备方法,包括如下步骤:(1)衬底预处理;(2)靶材预处理;(3)在射频电源的作用下,设备腔体中的氩气和氮气发生辉光放电,形成等离子体,Ar+离子轰击铝靶材,溅射出铝原子,铝原子与等离子体中的氮原子发生反应,在衬底上形成AlN缓冲层;(4)N2、Ar气氛下,采用磁控溅射沉积,在衬底上形成AlN薄膜;其中,磁控溅射沉积AlN薄膜时N2与Ar体积之比为1:1‑1.5。本发明提供了一种蓝宝石基氮化铝薄膜复合新材料的制备方法,极大地改善了氮化铝薄膜的质量,同时也拓宽了蓝宝石基氮化铝的应用条件,特别是在UVCLED方面的应用。
声明:
“用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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