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石墨烯的化学图形化方法

970   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:00:09
本发明公开了一种石墨烯的化学图形化方法,包括以下步骤:1)在石墨烯表面涂抹光阻材料;2)将步骤1)得到的光阻材料-石墨烯复合材料曝光显影,得到需要的图形;3)将步骤2)得到的曝光显影后的光阻材料-石墨烯复合材料送入反应装置,将显影暴露的石墨烯转变为石墨烷;4)去除步骤3)得到的复合材料上的光阻材料,得到图形化的石墨烯。本发明将需要图形化的石墨烯部分进行保留,而将不需要的部分变成石墨烷,由于石墨烷不导电,所以不会影响石墨烯的导电性能,这样既保证了石墨烯的功能性图形化得以实现,同时也保留了石墨烯加工的可逆性。本发明能够做到大规模、高效率的对石墨烯进行图形化。
声明:
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