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新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法

1295   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:02:45
本发明涉及一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法,属于多晶硅铸锭用坩埚技术领域,包括坩埚体,所述坩埚体为上端开口的腔型结构,所述坩埚体的内腔底部铺设有石墨烯‑二氧化硅复合材料层,所述石墨烯‑二氧化硅复合材料层的上方铺设有石英陶瓷结构层。本发明的一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法,通过在坩埚中添加石墨烯‑二氧化硅复合材料层,能有效地增强材料的力学性能和热学性能,使新型复合坩埚具有较高强度的同时还具有很好的韧性,可以有效地减少坩埚的溢流率,同时使用该复合坩埚可降低铸锭过程的能耗,提高多晶硅晶体的质量,满足市场需求。
声明:
“新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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