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直拉单晶硅炉用碳化硅涂层的碳/碳加热器

940   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 17:26:11
本发明公开了一种直拉单晶硅炉用碳化硅涂层的碳/碳加热器，包括以下步骤：一、将T700碳纤维单向布和碳纤维网胎交替叠层针刺成加热器预制体；二、将碳化硅微粉、无水乙醇和表面活性剂按照一定比列混合为浆料；三、将二中得到的预制体置于85℃的烘干炉内；四、将处理好的加热器预制体放入化学气相沉积炉内；五、将加热器毛坯进行高温石墨化处理；六、将碳/碳加热器毛坯进行机械加工；七、将加工好的碳/碳加热器放入化学气相沉积炉内，得到碳化硅涂层的碳/碳复合材料加热器。其技术方案要点是，本发明的碳化硅涂层是采用化学气相沉积制备的，碳/碳加热器表面涂层较为均匀，有效解决了碳/碳加热器的硅蚀问题，延长了碳/碳加热器的使用寿命。
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“直拉单晶硅炉用碳化硅涂层的碳/碳加热器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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