本发明公开了一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀‑表面覆膜的复合加工方法,属于光电技术领域。本发明首先采用飞秒脉冲激光刻蚀基底材料样品表面,得到具有微纳阵列表面的材料样品;然后在具有微纳阵列表面的材料样品上涂覆上一层低能态疏水薄膜,得到低能态疏水薄膜‑微纳阵列结构表面复合材料,实现物理疏水和化学疏水的综合疏水性能。该方法结合了飞秒激光刻蚀技术及低能态疏水薄膜涂覆技术,具有加工精度高、稳定性强、制备快速高效等特点,可广泛应用于各种复合物表面微纳阵列的加工。
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