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基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法

1244   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:43:36
本发明公开了一种基于柔性薄膜的MEMS执行器,构成包括透明基底(1),透明基底(1)的中部设有线圈(2),铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3),透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7),硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5),柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6),磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。本发明具有优异的柔韧性和高断裂强度,大大增加了设备的稳定性和效能以及使用寿命。本发明还采用磁性复合材料来替代永磁铁的使用,可以同时保证薄膜的柔性和磁力的强度,提高了实用性和便利性。
声明:
“基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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