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用于制备大纵横比铌酸锂波导的化学机械抛光液

1108   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:17:34
本发明涉及一种用于制备大纵横比铌酸波导的化学机械抛光液,包括以下成分及质量百分数:二氧化硅为5‑50%;PH调节剂为0.1‑5%;活性剂为0.02‑1%;络合剂为0.5‑4%;缓蚀剂为0.01‑0.6%;去离子水为余量。本发明中,化学机械抛光液选用的表面活性剂一方面可以降低表面张力,提高质量传输速率,增大流动性;另一方面也对高低选择比起反作用,容易在低处成膜,降低低处的消磨率;因而该抛光液选取了最佳浓度,既可以保证抛光液的流动性不受影响,也保证该抛光液仍具有较大的铬,铌酸锂选择比。
声明:
“用于制备大纵横比铌酸锂波导的化学机械抛光液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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