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全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法

1224   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:38:17
本发明涉及一种全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法,该制备方法具体步骤如下:以LiMg合金作为靶材,并将清洗备用的衬底基片置于溅射腔室内的样品旋转台上,溅射腔室内预抽真空度<1.0×10‑4Pa;将氩气与氧气充分混合后通入溅射腔室内至溅射工作气压0.3~1Pa,混合气体中氮气和氩气的流量比控制在10%~50%;在样品旋转台旋转工作、脉冲直流电源占空比为40%~80%、溅射功率密度控制在3W/cm2以下,靶基距离为6~12cm,溅射60~120min,溅射成LiMgN薄膜。本发明的优点在于:本发明采用脉冲直流反应磁控溅射制备无机固态离子电解质LiMgN薄膜,使得连续、在线、大面积工业化生产电致变色玻璃成为可能。
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