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三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法

951   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:32:08
本发明涉及一种三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法,所述三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法,包括如下步骤:(1)将化合物1与MCl4进行反应,制备化合物2;(2)将化合物2与HNR1R2进行反应,制备化合物3;(3)将化合物3与化合物4进行反应,制备所述三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物。上述合成方法通过合理设置各反应步骤,能够有效提升合成的收率,且原料安全易得,避免使用丁基,既大大提高反应的安全系数,又避免在反应中引入杂质金属,便于产物的纯化,能够满足半导体产业对其前驱体源纯度的要求。同时操作简单,无需对中间体进行分离,路线绿色环保,适合工业化放大生产。
声明:
“三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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