本发明公开了一种谐振器用类金红石结构微波介质陶瓷,合成物表达式为ZnO‑(0.97+x)TiO2‑0.03GeO2‑Nb2O5,其中x=0.6~0.9。先将原料按化学计量式配料,经球磨、烘干、过筛、预烧后,初步合成锰钽矿型ZnO‑0.97TiO2‑0.03GeO2‑Nb2O5基体粉料,再将基体粉料中加入与基体摩尔比为x的TiO2,x=0.6~0.9,经造粒,成型后,坯体于1090~1160℃烧结,得到类金红石结构微波介质陶瓷。本发明介电常数εr为39.2~46.3,品质因数Qf值为31030GHz~50800GHz,谐振频率温度系数τf为‑36.5~+17.0ppm/℃。制备工艺简单,原料低廉,采用中温烧结,应用前景广泛。
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