权利要求
1.一种太阳能电池用金属电极,其特征在于,包括设于硅基体表面的栅线区域的金属种子层,设于所述金属种子层表面的贱金属栅线,以及设于所述贱金属栅线表面的磷酸铜保护层;
所述金属种子层为银种子层、镍种子层、锆种子层、钛种子层、铬种子层、镍硅合金种子层、铜合金种子层中的至少一种;
所述贱金属栅线为铜栅线、铝栅线中的至少一种;
所述磷酸铜保护层为磷酸铜层、有机磷酸铜复合物层中的至少一种。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用金属电极,其特征在于,所述金属种子层为银种子层,其厚度为0.8-1.2μm。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用金属电极,其特征在于,所述贱金属栅线为铜栅线,其高度为8-15μm。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用金属电极,其特征在于,所述磷酸铜保护层为磷酸铜层,或Cu3(PO4)2·植酸铜复合物层;磷酸铜保护层的厚度为8-12nm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种太阳能电池用金属电极,其特征在于,所述贱金属栅线与磷酸铜保护层之间还设有镍过渡层,所述镍过渡层的厚度为8-15nm。
6.权利要求1-5任一项所述的一种太阳能电池用金属电极的制备方法,其特征在于,包括如下制备步骤:
步骤S1、准备好硅基体,所述硅基体包括:硅片以及设于硅片的正面和/或背面的钝化膜;
步骤S2、在硅基体的表面制备金属电极,其包括:
步骤S21、将硅基体表面预定栅线区域的钝化膜打开,以形成局域裸露硅表面的开膜区;
步骤S22、在开膜区的硅表面依次制备金属种子层、贱金属栅线及磷酸铜保护层,即得金属电极。
7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池用金属电极的制备方法,其特征在于,步骤S22中,所述磷酸铜保护层的制备方式为电镀、溶液共沉淀法、水热法或物理混合方式;
当所述磷酸铜保护层为磷酸铜层,且金属种子层和/或贱金属栅线为含铜材质时,其电镀工艺如下:
先配制磷酸盐电解液:其包括0.2-0.4mol/L的K3PO4、0.1-0.2mol/L的H3PO4、占磷酸盐电解液总体积的0.05-0.1%的氧化剂以及占磷酸盐电解液总体积的0.01-0.
声明:
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