权利要求
1.感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，包括：
支撑层，包括第一面和第二面；
抗蚀剂层，设于所述支撑层的所述第一面，所述抗蚀剂层包括抗蚀剂；
所述第一面与所述抗蚀剂层之间具有第一剥离强度，所述第二面与所述抗蚀剂层之间具有第二剥离强度，所述第一剥离强度大于所述第二剥离强度；
所述支撑层满足以下条件：
取两个尺寸为1m×0.8m的所述支撑层记为支撑层A和支撑层B，所述支撑层A的所述第一面上以250cm/min的涂布速度均匀涂布所述抗蚀剂，所述抗蚀剂烘干后形成38μm厚的所述抗蚀剂层；所述支撑层B的第二面与所述抗蚀剂层相对并在65℃温度和0.4mPa压力下贴合形成“支撑层A+抗蚀剂层+支撑层B”的组合体，将所述组合体在温度23℃相对湿度55%的无尘室中静置1h；在温度为23℃、剥离角度为180°和剥离速度为1.0m/min的条件下将所述支撑层B剥离，所述支撑层B的所述第二面上的所述抗蚀剂的残留量小于等于0.01wt%；其中，所述抗蚀剂的残留量由以下公式计算而得，残留量=w1/w2×100%，w1为完全剥离后支撑层B第二面上残留的抗蚀剂的质量，w2为烘干后抗蚀剂的总质量。
2.根据权利要求1所述的感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于：
所述第一剥离强度与所述第二剥离强度之间的比值为大于等于1.5且小于等于22。
3.根据权利要求1所述的感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于：
所述第一剥离强度为大于等于30mN/cm且小于等于170mN/cm，所述第二剥离强度为大于等于5mN/cm且小于等于60mN/cm。
4.根据权利要求1所述的感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于：
所述第一面具有第一水接触角，所述第二面具有第二水接触角；所述第一水接触角小于等于所述第二水接触角。
5.根据权利要求4所述的感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于：
所述第二水接触角为大于等于90°且小于等于130°。
6.根据权利要求1所述的感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于：
所述第二面包括疏水改性化合物，所述疏水改性化合物包括硅酮系脱模剂或醇酸树脂系脱模剂中
声明：
“感光干膜抗蚀剂层压体和线路板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：杭州福斯特应用材料股份有限公司
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2025年05月08日 ~ 10日 
