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碳/碳复合材料表面高温抗氧化SiC/ZrC涂层的制备方法

1233   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 16:30:03
本发明提供一种碳/碳复合材料表面高温抗氧化SiC/ZrC涂层的制备方法,包括如下步骤:送样步骤:将放置有试样的样品台传送到溅射室,对溅射室进行抽真空;主轰击步骤:向溅射室内充入氩气,在Si靶、Zr靶和C靶加电压和电流进行轰击;镀膜步骤:开启控制Si靶和C靶的直流电源经溅射并沉积后制备满足化学计量比的SiC层,然后开启控制Si靶和C靶的直流电源经溅射并沉积后制备满足化学计量比的ZrC层;然后再依次按照上述步骤沉积SiC层、ZrC层,经多次溅射并沉积后,完成镀膜。通过该方法制备的SiC/ZrC涂层有效防止由于其热膨胀系数过大而形成的过多的裂纹,操作工艺简便、涂层结构简单、易于工业化生产。
声明:
“碳/碳复合材料表面高温抗氧化SiC/ZrC涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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