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大尺寸碳化硅晶圆及其制备方法

827   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 16:58:00
本发明涉及一种大尺寸碳化硅晶圆及其制备方法,其中,制备方法包括:在水溶液中对二氧化硅粉末进行球磨,制得二氧化硅水溶液;将所述二氧化硅水溶液与液态丙烯腈低聚物混合,经喷雾干燥,制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料;将所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料与石墨进行固相混合,经球磨后,制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料;依次在惰性气体的气氛以及空气气氛下,对所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料进行热处理,制得碳化硅粉末;将所述碳化硅粉末通过3D打印制得大尺寸碳化硅晶圆。本发明采用3D打印技术制备大尺寸碳化硅晶圆,制备工艺简单,且可根据实际需求制备得到不同尺寸的碳化硅晶圆。
声明:
“大尺寸碳化硅晶圆及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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