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内置电容及其制备方法

1176   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:10:23
本发明公开了一种内置式电容,其包括第一电极、第二电极和设于第一电极和第二电极之间的介电层,介电层和第一电极之间设有第一过渡层,介电层和第二电极之间设有第二过渡层,介电层的材料为无机介电材料,第一过渡层和第二过渡层的材料均为环氧树脂或聚酰亚胺。本发明还公开了相应的制备方法。由于本发明在介电层和电极之间设有过渡层,过渡层和介电层没有采用无机/有机复合材料,省去了制备复合材料的环节,降低了原材料混入杂质的可能性,有利于制备高品质电容。另一方面,本发明可以采用喷墨打印的工艺制备过渡层,以及采用磁控溅射的工艺制备介电层,使得过渡层和介电层的厚度可以得到精确控制,提高了生产高品质内置电容的成品率。
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