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单晶硅坩埚

1194   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:12:18
本发明公开了一种单晶硅坩埚,包括坩埚部本体,配置为盛放石英坩埚;所述坩埚部包括孔单元,设置于坩埚部本体的侧壁,连通坩埚部的内外空间;孔单元在第二坩埚单元圆周方向上所占的比例,自坩埚部底部一侧向另一侧逐渐增大;所述坩埚部由碳‑碳复合材料制成。本发明提供一种单晶硅坩埚,采用碳‑碳复合材料作为坩埚侧壁,减少侧壁厚度,增大坩埚的容积,提高了单晶硅的产量;侧壁孔单元的设置,提高了加热器发热体对石英坩埚及硅熔体的热量传递,通过在侧壁上设置不同尺寸、不同形状或者分布密度不同的孔单元,可以有效控制硅熔体内部温度梯度的分布,控制硅熔体的对流,从而降低单晶硅的氧含量。
声明:
“单晶硅坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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