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氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘

783   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:17:31
一种氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘,其构成是 在盘基础上依次镀有第二保护层、氧化铂掩膜层和第一保护 层,所述的第一保护层和第二保护层均是由硫化∶二氧化硅 =80∶20的复合材料构成的薄膜层;所述的氧化铂中的含 O2量由溅射过程中 O2/(O2+Ar)的分压比例决定,分压比的取值范围为0.1~0.4。所 述的氧化铂掩膜层是由厚度为15-80nm的纳米氧化铂薄膜 层。本发明氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘具有稳定性好、信 噪比更高和更好的读出循环性。
声明:
“氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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