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含纳米银颗粒的氮化硼薄膜的制备方法

834   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:27:34
一种含纳米银颗粒的氮化硼薄膜的制备方法,属于纳米金属颗粒与宽带隙半导体材料复合材料领域。本发明步骤如下:第一步:将硅或者石英衬底进行清洗之后,在衬底材料上使用溅射方法沉积纳米银颗粒,沉积时间5s~10s范围,功率40~80W;工作气体为Ar气体,工作气压小于1Pa,抽真空;在第一步的基础上以溅射的方法沉积六方氮化硼薄膜,功率100~200W,时间10~40mins;工作气体为Ar/N2体积比为2∶3的混合气体,工作气压为1Pa,抽真空;对含有纳米银颗粒的六方氮化硼薄膜进行氮气保护退火;退火温度为500~900℃;恒温20~60分钟。本发明实现了宽带隙半导体材料的红外光谱增强。
声明:
“含纳米银颗粒的氮化硼薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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