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氧化锌/氮化镓复合薄膜制备方法

793   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:37:15
本发明公开了一种氧化/氮化镓复合薄膜的制备方法,采用脉冲激光沉积法低温下制备氧化锌/氮化镓复合薄膜,不仅拓展了ZnO‑GaN复合材料的制备方法,可以实现高于600nm的可见光吸收,而且和粉体相比,在衬底上制备的ZnO/GaN复合薄膜更易于重复利用。本发明所制备薄膜粒径分布均匀,具有明显的可见光响应,带隙达到1.6eV。
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“氧化锌/氮化镓复合薄膜制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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