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氧化锌/氮化镓复合薄膜制备方法

733   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 17:37:15
本发明公开了一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，采用脉冲激光沉积法低温下制备氧化锌/氮化镓复合薄膜，不仅拓展了ZnO‑GaN复合材料的制备方法，可以实现高于600nm的可见光吸收，而且和粉体相比，在衬底上制备的ZnO/GaN复合薄膜更易于重复利用。本发明所制备薄膜粒径分布均匀，具有明显的可见光响应，带隙达到1.6eV。
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“氧化锌/氮化镓复合薄膜制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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