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用来收集和回收沉积材料的薄膜沉积设备的栅板系统

1036   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:45:53
在薄膜沉积设备中对材料进行收集回收的装置,特征在于元件(3)能截获在沉积过程中材料的浪费部分。这些元件:布置在各模块(1、5)中,根据沉积腔室的形状可组合成多种构造;依据待回收的材料,由于机电驱动器(4)、机械传动系统(6、10、15a、15b)、在驱动器(4)与沉积过程的软件/面板控制器间的电子接口(9)而回转从而使元件转动自动化;是可拆除的;能与所收集材料分离。这些元件具体地可以是栅板(3),竖向设置在每一模块(1、5)中,由复合材料制成,该材料特征是金属材料或氧化(两者都适于超高真空条件)的芯部、和两个表面聚合物层,表面聚合物层对所选芯部具有低粘着力因此能被容易地去除,同时耐受沉积腔室的温度-压力条件。
声明:
“用来收集和回收沉积材料的薄膜沉积设备的栅板系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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