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磁控溅射制备超薄金属锂薄膜的方法及系统

1061   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:01:39
本发明公开了一种磁控溅射制备超薄金属薄膜的方法及系统。所述方法包括:至少将基材、金属锂靶材置入真空环境,并通过直流磁控溅射方法,在所述基材上沉积形成超薄金属锂薄膜。所述系统包括:直流磁控溅射设备、相互配合的至少一放卷机构和至少一收卷机构,以及至少一主辊,所述至少一放卷机构和至少一收卷机构置于第一真空室内,所述至少一主辊置于第二真空室内。本发明采用磁控溅射技术沉积的金属锂薄膜厚度更薄,表面更加均匀平整,与基材的粘附性更好,若作为锂二次电池的负极材料,可使表面电流密度分布更加均匀,从而减少锂枝晶的生成,提高电池的电化学性能与循环寿命。
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