合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 加工技术

> 基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法

基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法

784   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:12:55
本发明公开了一种基于反应离子刻蚀的钽酸微图形化方法,属于半导体技术领域,具体涉及钽酸锂晶体微图形化,以解决各层材料间应力较大使图案易被破坏的问题,包括:在光刻胶表面依次镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜;用剥离法在钽酸锂基底表面制备出金属掩膜图案;采用氟基等离子体对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底进行反应离子刻蚀;采用氩等离子体对钽酸锂基底进行30s‑2min物理轰击,以去除在样品表面形成的氟化锂和氟化钽酸盐等高沸点难挥发性物质;重复上述刻蚀步骤,直至完成钽酸锂基底的微图形化。在钽酸锂基底上制作微米级深度的图形,同时达到图形的侧壁倾角大,沟槽表面光滑的目的,得到较高的金属掩膜的选择比,刻蚀深度较深。
声明:
“基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
加工技术
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 金属百科 | 锑的历史与发展 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 2025年锂电池行业十大变革性技术 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.170066s