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低杂波铌酸锂薄膜声表面波滤波器及其制备方法

793   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:28:38
本发明属于滤波器技术领域,具体涉及一种低杂波铌酸薄膜声表面波滤波器及其制备方法;该方法包括:支撑衬底、介质层、铌酸锂薄膜和叉指换能器;所述介质层包括介电薄膜层和预埋介电材料,预埋介电材料嵌入设置在铌酸锂薄膜内部且呈周期性分布,介电薄膜层设置在支撑衬底和铌酸锂薄膜之间,且介电薄膜层和预埋介电材料相邻;本发明通过在压电薄膜层即介电薄膜层中内埋介电材料,抑制杂波信号,降低宽带单晶薄膜声表面波滤波器通带的杂波干扰,提升滤波器通带平坦度,实现单晶薄膜声表面波滤波器整体性能提升,实用性高。
声明:
“低杂波铌酸锂薄膜声表面波滤波器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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