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基于薄膜铌酸锂的片上起偏器及其制作方法

1067   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:10:09
本申请公开了一种基于薄膜铌酸的片上起偏器及其制作方法,本起偏器包括自下而上依次布置的基底层、缓冲层、波导芯层和波导上包层;其中,基底层、缓冲层和波导上包层用于保护波导芯层;波导芯层中包含有起偏波导系统,起偏波导系统包括锥形波导传输段、连接波导段、非对称Y分支段、输出波导段、吸收波导段;锥形波导传输段、连接波导段和非对称Y分支段顺序连接;输出波导段的输入端和吸收波导段的输入端均连接非对称Y分支段的输出端。本申请在薄膜铌酸锂片上实现起偏功能,有助于实现基于单片集成光子芯片的光纤陀螺,便于减小器件尺寸,有利于器件的集成化和芯片的小型化;工艺技术成熟,可以有效降低成本。
声明:
“基于薄膜铌酸锂的片上起偏器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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