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液态金属回路极紫外光源系统

909   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:05:34
本实用新型公开了一种液态金属回路极紫外光源系统,外壳体顶部插入有输送液态金属的进液靶管,进液靶管下方设置有液态靶设备,液态锂靶设备下方设置有出液靶管,出液靶管将液态金属输送至锂罐体,过滤罐体设置于锂罐体内部,过滤罐体通过管道与电磁泵,电磁泵的出口端通过管道与进液靶管连接,外壳体侧面与液态锂靶设备位置对应处具有连通的极紫外光源出口,外壳体侧面具有连通的激光束入管,激光束入管处设置有激光器,激光器产生的激光作用于液态锂靶设备之上,激光束入管侧面具有连通的真空管,真空管与抽真空设备连接,锂罐体外侧缠绕有电发热丝,锂罐体具有连通的真空泵接头,解决现有技术中需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。
声明:
“液态金属回路极紫外光源系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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