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混合集成光纤陀螺光学芯片的制备方法

965   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:22:14
本发明属于半导体工艺技术领域,具体涉及一种混合集成光纤陀螺光学芯片的制备方法,所述芯片包括基底、光源、硅基3dB耦合器、铌酸Y分支相位调制器、及信号探测器,硅基3dB耦合器基于硅基二氧化硅光波导技术,包括相互连通的Y分支波导、两个90°圆弧波导、锥形波导和两个直波导,锥形波导的宽端作为光学芯片的光输入端口,所述光源正对光输入端口,与Y分支相连的直波导作为光学芯片的信号输出端口,信号探测器的光敏面正对信号输出端口,与90°圆弧波导相连的直波导作为光传输端口,与铌酸锂Y分支相位调制器3的基波导端面通过波导耦合工艺拼接固定。本发明消除了光纤熔接点,具有集成度高、体积小、功耗低、性能好、可靠性和环境适应性好等优点。
声明:
“混合集成光纤陀螺光学芯片的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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