合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 加工技术

> 辐射源、光刻装置和器件的制造方法

辐射源、光刻装置和器件的制造方法

1062   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:35:22
一种包括阳极和阴极的辐射源,所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电,进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟,和/或。为提高热耗散,辐射源包括多个放电元件,每个放电元件只使用短的时间间隔,之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的的EUV辐射脉冲的精确同步,辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率,辐射源设置为具有低感应系数,并运行在自触发的状态。
声明:
“辐射源、光刻装置和器件的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
加工技术
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
2025年锂电池行业十大变革性技术 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 原来他们都是中南大学杰出校友! 有色金属:六种战争金属性能详解 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.133404s