合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 加工技术

> 片上集成光波导结构及制备方法

片上集成光波导结构及制备方法

1103   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:19:45
本发明公开了一种片上集成光波导结构及制备方法,其制备包括铌酸薄膜表面上镀金属铬膜、飞秒激光直写铬膜层、化学机械抛光、反应离子刻蚀以及铬膜腐蚀等步骤。本发明方法制备流程结合了化学机械抛光的侧壁及表面光洁度以及反应离子刻蚀的侧壁陡直度的优势,可大规模制备高度复杂且具有高精密结构的片上集成光子器件,包括光学调制器、波分复用器、微型激光器、滤波器,在光通信、量子计算、精密测量等领域具有重要的应用前景。
声明:
“片上集成光波导结构及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
加工技术
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 原来他们都是中南大学杰出校友! 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记